Q. 삼성전자 M기술팀 금속 배선공정시 도금법이 아닌 왜 PVD를 쓰는건가요?

답변 4

• r

  radish삼성전자

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  일치

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  안녕하세요 다 사용하고 있습니다. 다만, 조금더 미세한 부분에 있어 PVD를 사용하는 제품은 있겠습니다.

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• 황

  황금파이프삼성전자

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  일치

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  하나의 제품을 만들기 위해서는 수십 수백번의 공정이 진행됩니다. 제품별로 상이할 수 있으나, 둘다 사용한다고 말씀드릴 수 있습니다. PVD와 전기도금의 장단점이 각각 있을텐데 상황에 맞게 사용합니다

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• 어

  어피치ㅣ삼성전자

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  일치

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  다 사용하고 있습니다 모든 Metal을 Cu로만 사용하지 않죠 ㅎㅎ Cu는 말씀하신대로 EP로 기르는데 다른 막질의 경우 모두 EP로 할 필요없으니 여러 방법으로 덮거나 성장시키죠 목적은 모두 하나같이 저항을 줄이기 위함이구요

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• m

  masteric삼성전자

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  일치

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  모두 사용합니다만 미세공정이 필요할수록 pvd가 많이쓰입니다. 목적은 기생저항 캡 줄이려는 용도이구요

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