쨩 쨩후니 직무 · 삼성전자 / 공정설계 Q. 포토공정에서 발생하는 패턴 결함을 ARC를 이용한 방법 말고 다른게 있을까요? 포토공정에서 발생하는 패턴 결함을 ARC를 이용한 방법 말고 다른게 있을까요?
채택 m masteric 삼성전자 코부사장 ∙ 채택률 76% ∙ 회사 산업 일치 답변 더보기 OAI, PSM, OPC ,double explosure 등 많습니다 구글링해서 찾아보셔도 많이나올것입니다. 패턴이 빛의 어떤결함인가에 따라서 해결책이 달라집니다ㅡ
채택 니 니꿈은뭐니 삼성전기 코사장 ∙ 채택률 85% 답변 더보기 패턴 결함을 개선하기 위한 법은 상당히 많아요.대표적인게 상의 왜곡을 예측하여 해상력을 개선 시킨 opc 가 대표적입니다.
채택 공 공정설계현직3 삼성전자 코전무 ∙ 채택률 80% ∙ 회사 직무 산업 일치 답변 더보기 일단 패턴이 원하는대로 형성이 안되면 공정 파라미터를 바꾸죠 보통 FOCUS 나 ET요그리고 Defect이 있으면.. Clean을 강화하는거고..PR 두꼐 관련된건 Spin coationg쪽에서 레시피를 바꾸면 되겠네요
2021.08.23