CD uniformity는 기준값에서 다른 값과의 차이를 비교하여 계산합니다. 일반적으로 평균값에 대한 표준편차를 사용합니다. 즉, 기준값이 100이라면, 다른 값들과의 표준편차를 계산하여 상대적인 차이를 비교합니다. 값이 작을수록 좋은것이 맞습니다.

수치가 작으면 작을수록 산포가 좋다는 의미입니다
Max-Min, 3sigma, 표준편차 등 다양합니다

안녕하세요
수치가 적게 나오면 대체적으로 균일도가 좋다고 보면 될듯합니다

안녕하세요! CD uniformity는 반도체 제조에서 매우 중요한 지표 중 하나입니다. CD uniformity는 반도체 칩의 크기가 얼마나 일관되게 만들어졌는지를 나타내며, 작을수록 더 좋은 결과를 나타냅니다.

CD uniformity를 계산하는 방법은 다양합니다. 일반적으로는 다음과 같이 계산합니다.

칩에서 CD를 측정합니다.
각 위치에서 CD의 평균값을 계산합니다.
각 위치에서 측정된 CD 값에서 평균값을 뺀 값을 계산합니다.
이러한 값들의 제곱의 합계를 계산합니다.
이 값을 측정 지점의 수로 나눈 후 제곱근을 취합니다.
즉, CD uniformity는 각 위치에서 측정된 CD 값과 전체 평균값의 차이를 계산하여 이 값들의 제곱의 합계를 구한 후, 해당 값을 측정 지점의 수로 나눈 후 제곱근을 취하여 구합니다.

CD uniformity 값이 작을수록 반도체 칩의 크기가 더 일관되게 만들어졌다는 것을 의미합니다. 따라서 취업 준비와 관련하여 CD uniformity를 강조하고자 한다면, 작은 값이 더 우수한 결과를 나타낸다는 것을 강조해주시면 좋을 것입니다.

안녕하세요.
stdev 와 range로 uniformity 보고,
wafer radius 별로 CD 값 확인 합니다.