회사/산업 · 삼성전자 / 공정설계

Q. DC sputtering으로 금속 증착 시 질문

윤슬빈

DC sputtering을 이용하여 금속 증착시에 챔버내의 온도도 공정변수인가요? 온도는 어느정도로 설정하나요?


2020.06.17

 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 

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