Q. e-beam 리소그래피 질문입니다.
1. e-beam 리소그래피를 이용해서 가장 작은 사이즈 (수십 나노 마이크로 사이즈)로 소자를 제작하기 위해 공정단계에서 가장 중요한 요소가 무엇일까요??
2. 작은 사이즈로 제작하면 좋은점이 있을까요?
3. 제가 학부연구생으로 e-beam litho를 주로 맡고있는데 가장 작은소자를 만들기 위한 조건을 찾는 것을 목표로 하고 있는데 이걸 직무와 연관시킬수 있을까요?
희망직무는 메모리공정기술 입니다
답변부탁드립니다ㅠㅠ
일반적으로 노광장비 보다는 e-BEAM 리소가 단위시간당 작업량이 작은 것으로 알고있습니다. 이런 약점을 개선하는 것이 가장 중요하다고 생각한다고 말해보는 것이지요.
2021.08.28