직무 · 삼성전자 / 공정설계
Q. etch rate 계산 질문있습니다.
안녕하세요 현직자님들 질문이 있습니다. RIE ETCH를 2분 간 진행했을 때 Thickness가 3000옴스트롱 이라는 결과가 나왔습니다. 그렇다면, etch rate= etch thickness/etch time (옴스트롱/min)으로 알고 있는데, 결과 값이 3000/2=1500이 나오는 것이 맞는지 궁금합니다. 실습을 진행했는데 값이 크게 나와 계산 방식이 맞는지 궁금합니다.
2023.08.28
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