직무 · 삼성전자 / 생산기술

Q. 증착공정에서의 기체의흐름에 대하여 질문있습니다

룰룽22

1. CVD를 할때 반응기체가 층류여야만 하는이유가있을까요?? 2. Step coverage를 향상시키기위해 chuck 의 온도를 가능한 올린다도 괜찮은 방법일까요?? 감사합니다


2022.06.17

 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 

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