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Q. 반도체 photo 공정에서 최신 기술

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photo 공정에 대해 공부를 하고 있던 중, 최신 기술에 대해 궁금해서 여쭤보고 싶습니다. 대외비가 아닌 선에서 photo공정에서 '최신 기술'이 있는지 궁금합니다. 인터넷 서칭을 해보았지만 더블 패터닝 기술과 같은 것이 나오는데 꽤 사용되어 온 기술이라는 글을 보았기에 현직자 분들께 여쭤보고 싶습니다. 답변 부탁드리겠습니다. 감사합니다.

2022.04.20

답변 4

  • l
    lIIIIl삼성전자
    코사장 ∙ 채택률 79% ∙
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    더블 패터닝은 10년도 넘은 기술이죠 그나마 최신 기술이라고 할 수 있는게 EUV 입니다. 사실 이것도 수년전 부터 이미 양산에 사용중이긴 합니다

    2022.04.20

  • 굿
    굿모닝따롱삼성전자
    코대리 ∙ 채택률 72% ∙
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    단연코 euv가 핵심입니다. euv의 원리부터 pellicle 등 찾아보시면 많은 정보가 나올텐데 참고하시면 되겠습니다.

    2022.04.20

  • m
    masteric삼성전자
    코부사장 ∙ 채택률 76% ∙
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    euv 포토레지스트 치면 뉴스 많이나옵니다 멘티님 그게 최신기술이라고 보시면됩니다. euv관련 기술이 요즘에는 핵심입니다.

    2022.04.20

  • 삼
    삼전applied삼성전자
    코대리 ∙ 채택률 66% ∙
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    EUV 기술들이 계속 개발되고 있습니다. 스토캐스틱 이펙트나 euv 마스크 등 이슈가 생기는데 이를 해결하기 위해 여러 가지 기술들이 개발되고 있습니다. DUV에서는 쉐도잉 이펙트를 해결하는 기술들이 최신 기술이라고 생각합니다.

    2022.04.20

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