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Q. 삼성전자 DRAM의 미세공정

백도하나

삼성전자 기술에 대해 질문이 있습니다. 파운드리 공정은 초미세공정이라고 해서 EUV 이용해서 3nm 공정까지 양산단계로 아는데, 메모리사업부에서 DRAM은 왜 파운드리 만큼의 선폭을 갖는 공정을 못하는 건가요? DRAM은 EUV 14nm 공정이 초미세공정이라고 불리던데 이렇게 차이가 나는 이유가 궁금합니다.


2022.06.11

답변 4

  • r
    radish삼성전자
    코부사장 ∙ 채택률 77%
    회사
    일치

    채택된 답변

    안녕하세요 커패시터 유무에 따라 선폭이 많이 다릅니다. 따라서 메모리에는 euv도 아직 많이 도입되지 않았습니다.

    2022.06.11


  • 킹재용삼성전자
    코과장 ∙ 채택률 73%
    회사
    일치

    채택된 답변

    시스템 반도체를 보통 수주받는 파운드리, 말 그대로 메모리를 만드는 메모리사업부.. 가장 큰 차이는 공정에 캐패시터를 넣냐안넣냐입니다. 사실.. 그런 미세공정까지는 몰라도 됩니다..ㅎ

    2022.06.11


  • 할수있어.applied materials
    코부장 ∙ 채택률 65%

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    3NM 무조건 큽니다. 트랜지스터 양산을 아직 못합니다. 참고바랍니다.

    2022.06.10


  • 황금파이프삼성전자
    코부사장 ∙ 채택률 77%
    회사
    일치

    채택된 답변

    디램은 트랜지스터 + 캐패시터가 하나의 단위이며, 현재 트랜지스터를 3nm로 양산하기 위해 고군분투하신다고 보면됩니다. 여기에 캐패시터까지 더해지면 3nm보다는 무조건 크죠

    2022.06.10


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