취업 · 삼성전자 / 모든 직무
Q. USG 막질?
USG막질? 이 뭔지 잘 모르겠어요 일반적인 PE-oxide 막질? TEOS+O3로 만든 기본적인 SiO2 (도핑안된) 들을 모두 USG라고 하는건가요? 아니면 APCVD 방식으로 만든게 USG인지..? USG 생성 공정이 어떤것들이 있는지 궁금합니다..
2024.09.28
답변 4
- MMemory Department삼성전자코전무 ∙ 채택률 82% ∙일치회사
채택된 답변
USG(Undoped Silicate Glass) 막질에 대해 궁금해하시는군요! USG는 말 그대로 불순물이 첨가되지 않은 실리케이트 유리(SiO2)로, 주로 도핑되지 않은 산화막을 의미해요~ 일반적인 PE-oxide(Plasma Enhanced)로 만든 SiO2 막도 USG에 포함될 수 있죠. TEOS+O3를 사용해서 만드는 SiO2도 도핑되지 않았다면 USG라고 할 수 있어요! APCVD(Atmospheric Pressure Chemical Vapor Deposition) 방식으로도 USG를 생성할 수 있는데, PE-CVD(Plasma Enhanced CVD)와 함께 자주 쓰이는 방법이랍니다. APCVD는 대기압 하에서 반응을 일으켜 막을 증착하는 방식이고, PE-CVD는 플라즈마를 활용해서 낮은 온도에서 빠르게 증착할 수 있는 장점이 있어요~ 즉, USG는 PE-CVD나 APCVD 같은 다양한 방식으로 만들 수 있고, 중요한 건 도핑되지 않은 순수한 SiO2 막질이라는 점이에요! 도움이 되셨다면 채택 부탁드려요~ 응원합니다~!
안경공대남삼성전자코부사장 ∙ 채택률 65% ∙일치회사안녕하세요 네 보통 도핑안 된 sio2를 USG 라고 칭하고 있습니다
- 33분커리er삼성전자코이사 ∙ 채택률 50% ∙일치회사
undoped silicate glass로 불순물이 첨가되지 않은 실리케이트 유리막을 의미합니다 APCVD 아닌 다른방식으로 만들어도 USG로 부를수 있는것으로 알고있습니다
- 메메에모리삼성전자코상무 ∙ 채택률 49% ∙일치회사
다른 CVD 공정으로 만들어진 것들도 USG로 알고 있습니다.
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