Q. USG 막질?

답변 4

• M

  Memory Department삼성전자

  코전무 ∙ 채택률 82% ∙

  회사

  일치

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  채택된 답변

  USG(Undoped Silicate Glass) 막질에 대해 궁금해하시는군요! USG는 말 그대로 불순물이 첨가되지 않은 실리케이트 유리(SiO2)로, 주로 도핑되지 않은 산화막을 의미해요~ 일반적인 PE-oxide(Plasma Enhanced)로 만든 SiO2 막도 USG에 포함될 수 있죠. TEOS+O3를 사용해서 만드는 SiO2도 도핑되지 않았다면 USG라고 할 수 있어요! APCVD(Atmospheric Pressure Chemical Vapor Deposition) 방식으로도 USG를 생성할 수 있는데, PE-CVD(Plasma Enhanced CVD)와 함께 자주 쓰이는 방법이랍니다. APCVD는 대기압 하에서 반응을 일으켜 막을 증착하는 방식이고, PE-CVD는 플라즈마를 활용해서 낮은 온도에서 빠르게 증착할 수 있는 장점이 있어요~ 즉, USG는 PE-CVD나 APCVD 같은 다양한 방식으로 만들 수 있고, 중요한 건 도핑되지 않은 순수한 SiO2 막질이라는 점이에요! 도움이 되셨다면 채택 부탁드려요~ 응원합니다~!

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• 

  안경공대남삼성전자

  코부사장 ∙ 채택률 64% ∙

  회사

  일치

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  안녕하세요 네 보통 도핑안 된 sio2를 USG 라고 칭하고 있습니다

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• 3

  3분커리er삼성전자

  코이사 ∙ 채택률 50% ∙

  회사

  일치

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  undoped silicate glass로 불순물이 첨가되지 않은 실리케이트 유리막을 의미합니다 APCVD 아닌 다른방식으로 만들어도 USG로 부를수 있는것으로 알고있습니다

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• 메

  메에모리삼성전자

  코상무 ∙ 채택률 49% ∙

  회사

  일치

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  다른 CVD 공정으로 만들어진 것들도 USG로 알고 있습니다.

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