Q. etch rate를 통해 균일도는 왜 계산하는건가요

답변 6

• 졸

  졸린왈루(주)KEC

  코사장 ∙ 채택률 98%

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  채택된 답변

  안녕하세요 멘티님 etch rate가 wafer의 영역별로 비슷해야 균일도가 좋습니다. 균일도는 높은것이 좋습니다! 멘티님의 취업에 좋은 결과 있길 바랄게요~!

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• c

  cw3268도쿄일렉트론코리아

  코이사 ∙ 채택률 94%

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  채택된 답변

  uniformity는 Max-min ER/Max+Min ER로 계산하는데, 막질이 모든 부분 균일하게 깎였는 지 확인하기 위해 합니다. 높을수록 당연히 좋죠

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• 탁

  탁기사삼성전자

  코사장 ∙ 채택률 78% ∙

  회사

  일치

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  채택된 답변

  당연히 10nm를깎아야하면 20nm깎아버리면 못쓰는 물건이 되니 10nm근접하게 깎으려고합니다. 그렇게하면 에치균일도가 높아진다고합니다..

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• 황

  황금파이프삼성전자

  코부사장 ∙ 채택률 77% ∙

  회사

  일치

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  채택된 답변

  안녕하세요. 각 영역의 etch rate이 비슷할수록 균일도가 좋다고 볼 수 있습니다. 균일도는 높을수록 좋습니다.

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• 도

  도다리쑥국삼성전자

  코이사 ∙ 채택률 58% ∙

  회사

  일치

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  균일도라 함은 균일한 정도이니 당연히 높은 게 좋습니다. 품질이 균일할수록 불량이 적겠죠 etch rate는 etch되는 비율이고, 우리가 원하는만큼만 etch되어야 불량이 적습니다. (목표한 타겟을 맞춰야합니다) etch로 인한 불량이 많이 발생하니, etch rate를 통해 균일도를 계산하는 겁니다.

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• 다

  다시 돌아온 상코미코

  코사장 ∙ 채택률 99%

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  안녕하세요 멘티님 해당 질문에 대해 답변 드리겠습니다. 웨이퍼 각 부위 별로 동일한 etch rate를 가져야 uniformity가 좋게 됩니다. 균일도가 높은 것이 좋습니다. 도움이 된 답변이라면 채택 부탁드려요! 취업에 성공하시길 바랍니다!

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