직무 · 삼성전자 / 설비관리/운영

Q. etch rate를 통해 균일도는 왜 계산하는건가요

오라라라

etch rate통해 균일도는 왜 계산하는건가요? 그리고 균일도는 높은게 좋은건가요 낮은게 좋은건가요


2024.09.12

답변 6

  • 졸린왈루(주)KEC
    코사장 ∙ 채택률 98%

    채택된 답변

    안녕하세요 멘티님 etch rate가 wafer의 영역별로 비슷해야 균일도가 좋습니다. 균일도는 높은것이 좋습니다! 멘티님의 취업에 좋은 결과 있길 바랄게요~!

    2024.09.11


  • c
    cw3268도쿄일렉트론코리아
    코이사 ∙ 채택률 94%

    채택된 답변

    uniformity는 Max-min ER/Max+Min ER로 계산하는데, 막질이 모든 부분 균일하게 깎였는 지 확인하기 위해 합니다. 높을수록 당연히 좋죠

    2024.09.11


  • 탁기사삼성전자
    코사장 ∙ 채택률 78%
    회사
    일치

    채택된 답변

    당연히 10nm를깎아야하면 20nm깎아버리면 못쓰는 물건이 되니 10nm근접하게 깎으려고합니다. 그렇게하면 에치균일도가 높아진다고합니다..

    2024.09.10


  • 황금파이프삼성전자
    코부사장 ∙ 채택률 77%
    회사
    일치

    채택된 답변

    안녕하세요. 각 영역의 etch rate이 비슷할수록 균일도가 좋다고 볼 수 있습니다. 균일도는 높을수록 좋습니다.

    2024.09.10


  • 도다리쑥국삼성전자
    코이사 ∙ 채택률 58%
    회사
    일치

    균일도라 함은 균일한 정도이니 당연히 높은 게 좋습니다. 품질이 균일할수록 불량이 적겠죠 etch rate는 etch되는 비율이고, 우리가 원하는만큼만 etch되어야 불량이 적습니다. (목표한 타겟을 맞춰야합니다) etch로 인한 불량이 많이 발생하니, etch rate를 통해 균일도를 계산하는 겁니다.

    2024.09.12


  • 다시 돌아온 상코미코
    코사장 ∙ 채택률 99%

    안녕하세요 멘티님 해당 질문에 대해 답변 드리겠습니다. 웨이퍼 각 부위 별로 동일한 etch rate를 가져야 uniformity가 좋게 됩니다. 균일도가 높은 것이 좋습니다. 도움이 된 답변이라면 채택 부탁드려요! 취업에 성공하시길 바랍니다!

    2024.09.11


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