Q. pac이 뭔가요

답변 5

• 졸

  졸린왈루(주)KEC

  코사장 ∙ 채택률 98%

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  채택된 답변

  안녕하세요 멘티님 파장을 가진 광원의 힘을 받은 PR이 물결 무늬를 띄고 있는 것을 STANDING WAVE라고 하는데, PR내부에서 산에 의해 촉진되는 물질인 PAC를 활성시켜 PR의 형상을 완화시켜준다는 의미입니다. 멘티님의 취업에 좋은 결과 있길 바랄게요~

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• 탁

  탁기사삼성전자

  코사장 ∙ 채택률 78% ∙

  회사

  일치

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  채택된 답변

  peb는 노광을 맡은 pr을 dev하기 전 굽는 과정인데 이때 노광 받은 곳을 peb하기위해서 pac라는 pr내 화학물질을 활성화시켜야하고 standing wave는 정재파인데 이는 노광 시 빛이 간섭되게되는데 이로인해 pr 노관된 곳에 결이발생하는 현상으로 dev전 이러한 현상을 줄여야합니다. 노광 맡은 pr의 변형이 최소화돼야 그 후에 에치맡는곳의 cd가 균등하게 떠지므로 이해하신것과 덧붙이시면 될 것 같네요.

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• M

  Memory Department삼성전자

  코전무 ∙ 채택률 82% ∙

  회사

  일치

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  채택된 답변

  PAC은 “Photoresist Anti-Cratering”의 약자로, 포토레지스트(PR) 표면의 균일성을 개선하고 크레이터 같은 결함을 방지하는 기술을 의미해요. PEB(Prebake) 과정에서 PAC을 활성화시켜 PR의 표면을 평탄화하고, 웨이퍼 표면의 결함을 줄이기 위해 사용됩니다. Standing wave effect는 PR 도포 후, 열에 의해 웨이퍼 표면에서 발생할 수 있는 파동처럼 보이는 변형을 말해요. 이 현상은 PR이 불균일하게 도포되거나, 공정 중 열에 의해 변형이 발생할 때 나타납니다. 이를 최소화하기 위해 PAC을 사용해 PR의 표면을 평탄화하고, 웨이퍼 표면의 불균형을 줄이려는 노력을 하는 거죠. 이해가 되셨길 바라요! 도움이 되셨다면 채택 부탁드려요~ 응원합니다~!

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• 

  안경공대남삼성전자

  코부사장 ∙ 채택률 64% ∙

  회사

  일치

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  안녕하세요! 네 우선, 열에의해 PR이 도포된 웨이퍼의 변형을 최소화를 위함이 맞습니다! PAC는 포토공정에서 사용하는데요! photo acid compound 의 약자로 용해도를 컨트롤 해주는 것을 뜻합니다

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• 메

  메에모리삼성전자

  코상무 ∙ 채택률 48% ∙

  회사

  일치

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  standing wave를 평탄화 한다는 것을 의미하는 것 같습니다.

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