Q. 반도체 설비기술 질문입니다.

답변 4

• M

  Memory Department삼성전자

  코전무 ∙ 채택률 82% ∙

  회사

  일치

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  채택된 답변

  안녕하세요, 지원자님! 펌프에서 파티클 발생을 막기 위해 히팅 자켓을 사용하는 것은 맞습니다. 이와 관련해 몇 가지 궁금증을 해결해 드리겠습니다! 모든 반도체 Fab에서 펌프에 히팅 자켓을 사용하는 것은 아니에요. 히팅 자켓의 사용 여부는 공정의 종류와 Fab의 설계에 따라 다를 수 있습니다. 일부 Fab에서는 공정의 특성이나 요구사항에 따라 히팅 자켓을 사용하지 않을 수도 있습니다. 여름철에 히팅 자켓을 사용하지 않는 경우, 펌프 내에서 파티클이 발생할 수 있으며, 이로 인해 설비가 인터락되어 정지될 수 있습니다. 펌프의 온도 관리와 파티클 발생 방지는 설비의 안정성과 품질을 유지하는 데 매우 중요하죠! 도움이 되셨다면 채택 부탁드려요~ 응원합니다~!

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• 탁

  탁기사삼성전자

  코사장 ∙ 채택률 78% ∙

  회사

  일치

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  채택된 답변

  1. 모든 반도체 팹이라기보다도 설비마다 히팅관련 인터락을 관리하는 설비도있고 아닌경우도있습니다. 설비에 연결된 쿨링유닛도 존재하고 공정별로 설비가 워낙 다양하다보니.. 필터를사용하기도합니다. 파티클거르기위해 2. 그정도로 취약하면 여름에 설비 셧다운돼서 가동중지됩니다 ㅎ 그런일 없고 관리하니 혹여나 발생하더라도 단발성이고 빠르게 해결합니다.

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• 메

  메에모리삼성전자

  코상무 ∙ 채택률 49% ∙

  회사

  일치

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  채택된 답변

  네 말씀하신 내용이 맞고 잘 이해하신것 같아요

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• 황

  황금파이프삼성전자

  코부사장 ∙ 채택률 77% ∙

  회사

  일치

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  1. 모든 펌프는 아니고 필요한 공정에서는 사용하고 있습니다. (모든 펌프에 사용하기에는 비용과 유지보수관리가 어렵습니다.) 2. 반도체 팹은 항온항습이라서 여름/겨울 크게 상관없습니다. 만약 펌프 내 파우더가 발생한다면 인터락으로 인해 펌프가 다운되고 설비도 멈춥니다.

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