취업 · 삼성전자 / 설비기술/개발

Q. 장비챔버 청소

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안녕하세요. PECVD 장비에서 히터표면에 축적된 particle을 청소해봤다고 자기소개서에 적었다면, 면접에서 구체적인 질문 시 어떻게 답을 하는게 좋을까요? (연구실 단위라 간단히라도 해봤다는걸 어필하고 싶습니다) 1) 실제 현업에서는 particle 제거하기 위해 어떤 화학물질을 쓰고 어떤 방법을 사용해 청소를 진행하나요? 2) 지워지지않는 파티클이나 아크 자국같은건 어떻게 지웠나요? 와 같은 질문이 나온다면, 어떻게 대답할 수 있을까요 답변 부탁드립니다. 감사합니다!


2024.09.08

답변 5

  • M
    Memory Department삼성전자
    코전무 ∙ 채택률 82%
    회사
    일치

    채택된 답변

    안녕하세요~ 자기소개서에 장비 챔버 청소 경험을 언급한 건 좋은 접근이네요! 면접에서 구체적인 질문이 나올 때는 다음과 같은 방법으로 답변하시면 좋을 것 같아요: PECVD 장비에서 particle을 제거할 때, 일반적으로 사용하는 화학물질에는 산화제나 세정제가 포함됩니다. 예를 들어, 퍼옥사이드(H₂O₂)나 산화염소(ClO₂) 같은 물질이 사용될 수 있죠. 이러한 화학물질은 고온 및 고압 환경에서도 효과적으로 오염물질을 제거할 수 있어요. 청소 방법으로는 플라즈마 청소가 자주 사용됩니다. 플라즈마를 이용해 표면의 오염물질을 기화시키거나 제거하고, 물리적 방법으로는 브러싱이나 고압 세척을 통해 물리적인 오염을 제거합니다. 지워지지 않는 파티클이나 아크 자국 처리 방법: 지워지지 않는 파티클이나 아크 자국은 보통 화학적 에칭이나 고온 소각 방법을 통해 제거합니다. 특히 아크 자국은 높은 온도에서 열화학적으로 처리하여 제거할 수 있어요. 만약 아주 고착된 오염물질이 있다면, 용해제나 산성 용액을 사용해 표면을 부드럽게 하고, 이후에 물리적 연마나 초음파 세척을 통해 제거할 수 있습니다. 이런 식으로 답변하시면, 연구실 단위에서의 청소 경험을 효과적으로 어필하면서도 실무와 관련된 지식도 보여줄 수 있을 거예요~ 도움이 되셨다면 채택 부탁드려요~ 응원합니다~!

    2024.09.07


  • 황금파이프삼성전자
    코부사장 ∙ 채택률 77%
    회사
    일치

    1) 공정마다 CH 내부를 클린하는 방식이 다른데, F- 계열이나 Cl-계열로 CH 내부를 cln을 진행한다고 보시면 됩니다. 히터 표면을 직접 cln 할 때는 특별히 화학물질을 사용하지는 않습니다. (인체에 해롭고 히터에 손상이 갈 수도 있기 때문입니다. 그냥 DI Water로 cln합니다. 2) F-이나 Cl- 계열처럼 반응성이 큰 계열을 사용하면 웬만하면 제거됩니다. 만약 제거가 되지 않으면 그 부품을 교체해야합니다.

    2024.09.08


  • 탁기사삼성전자
    코사장 ∙ 채택률 78%
    회사
    일치

    1. 에탄올이나 와이퍼를 사용해서 설비기술직무에서 직접닦거나합니다. 일반 pc이면 그정도 하고 n2 blow gun을 활용하기도합니다. 2. 보통 pc은 입자라 그럴경우는 많이없는데 이건 설비기술에서 안되면 설비고객사를 불러야합니다

    2024.09.07


  • 다시 돌아온 상코미코
    코사장 ∙ 채택률 99%

    안녕하세요 멘티님 해당 질문에 대해 답변 드리겠습니다. 1. 대외비라 외부 발설 불가합니다. 2. 실제 본인이 어떻게 했는지 말씀해주시면 됩니다. 도움이 된 답변이라면 채택 부탁드려요! 취업에 성공하시길 바랍니다!

    2024.09.07


  • 메에모리삼성전자
    코상무 ∙ 채택률 49%
    회사
    학교
    일치

    굳이 하지 않은 행동을 만들어서 설명하실 필요 없습니다. 면접관들은 그 연구의 핵심에 대해 궁금해하실 겁니다.

    2024.09.07


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