취업 · 삼성전자 / 설비기술/개발

Q. PECVD 설비청소

ddlfmlaem_7

안녕하세요. PECVD 챔버 청소에 관해 질문드립니다. PECVD 장비에서 히터표면에 축적된 particle을 청소하는 것은 보통 설비 엔지니어가 하는데, 장비의 내부구조를 파악해서 직접 챔버를 청소했다고 적고싶습니다. 연구실 단위에서는 간단한 히터청소나 그런건 (화학물질로 닦는 등..) 직접 할 수 있을 거 같은데, 1) PECVD 장비의 챔버청소를 했다고 적기엔 무리가 있어보이나요? 2) 만약 간단히 해봤다고 적는 선에서 괜찮다고 하면, 만약 면접에서 나올 시 어떻게 대답할 수 있을지 궁금합니다.


2024.09.06

답변 6

  • 황금파이프삼성전자
    코부사장 ∙ 채택률 77%
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    안녕하세요. 말씀하신대로 장비를 오래 사용하다보면 히터위에 불순물 등 여러 파티클이 쌓이고 이를 주기적으로 청소해줘야 원활한 공정이 가능합니다. 여기서 왜 청소를 했는지, 왜 그 물질들이 쌓이는지 등을 알아내서 면접에서 어필하시면 좋은 점수 받을 것입니다.

    2024.09.06


  • 탁기사삼성전자
    코사장 ∙ 채택률 78%
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    채택된 답변

    PECVD의 연구실 장비 클리닝이라고하시면 됩니다. 실제 현업에서는 챔버안까지 세세하게 클리닝을 할떄는 업체를 부르거나 하는 곳도 있습니다. 진공장비이기에 마음대로 챔버를 열고 하기에 어렵기 떄문이죠, 청소하는걸 만약 면접에서 물어본다면 어떤 방식으로 청소를 했고 실제 현업에서는 마음대로 하지 못하고 설비 pm bm때 하는 것으로 알고있고 이런 경험을 통해 열심히 해보겠다. 이런식으로 답하시면 됩니다.

    2024.09.06


  • 꼬리링삼성전자
    코차장 ∙ 채택률 68%
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    안녕하세요 멘티님 1. 챔버청소는 굉장히 간단한 작업이니, 청소를 직접해보셨다고 적어도 좋을 것 같습니다. 2. 이 부분은 면접에서 나올 것 같지는 않지만(워낙 간단해서요), 예상해보면 닦을 때 사용한 물질, 만약에 지워지지않는 파티클이나 아크 자국같은건 어떻게 지웠나요? 등이 나올 것 같습니다.

    2024.09.06



    댓글 1

    d
    dlfmlaem_7
    작성자

    2024.09.06

    보통 어떤 물질을 사용해서 particle을 제거하는 지 알 수 있을까요??


  • 쪼별삼성전자
    코부장 ∙ 채택률 97%
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    안녕하세요. 개인적인 의견으로는 단순히 챔버를 청소했다고 적기보다는 PECVD 증착 중 particle 로 인한 박막 균일도가 떨어지는 문제가 있었는데, 이를 해결하기 위해 1) 챔버 진공도 조절 2) 챔버 벽에 있는 분술물 제거 를 진행하여 문제를 해결했다 라고 작성하는 것이 더 괜찮을 것 같아요^^ 도움이 되셨다면 채택 부탁드립니다 ㅎㅎ

    2024.09.06


  • 취뽀요정!삼성전자
    코차장 ∙ 채택률 71%
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    안녕하세요, 1) 실제로 연구실에서 사용하시는 PECVD를 직접 해체해서 청소를 하실 수 있다면 작성 가능할것 같네요, 물론 연구실 설비와 양산 설비는 매우 다르겠으나 어쨌든 본인이 담당하는 설비를 직접 관리 한것이니까요 2) 파티클 청소를 왜 하게 된것인지(BM인지 PM인지), 평소에도 그 설비를 주기적으로 관리하는지, 해당 설비 구조가 어떻게 되고 설비 파트별로 어떤 역할을 수행하는지 등등 질문이 나올 수 있겠네요

    2024.09.06


  • 다시 돌아온 상코미코
    코사장 ∙ 채택률 99%

    안녕하세요 멘티님 해당 질문에 대해 답변 드리겠습니다. 1. 했다고 적어도 됩니다. 목적에 대해서도 함께 이야기해주면 더 좋고요. 2. 예를 들어 클리닝 미 진행시 공정이 불안정했다던가하는 사례를 바탕으로 왜 클리닝을 주기적으로 해줘야 하는지 본인이 해당 직무에 대한 이해도와 연결지어 설명해주시면 될 것 같습니다. 도움이 된 답변이라면 채택 부탁드려요! 취업에 성공하시길 바랍니다!

    2024.09.06


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