Q. 반도체 포토공정에서 온도와 진동이 왜 중요한가요?

답변 4

• 니

  니꿈은뭐니삼성전기

  코사장 ∙ 채택률 86%

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  채택된 답변

  온도는 렌즈의 열화방지에 가장 큰 목적이 있고, 진동은 기판이 진동시 노광 focus 이동에 의한 왜곡된 상맺음 유발에 있습니다.

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• 파

  파일드삼성전자

  코이사 ∙ 채택률 71% ∙

  회사

  일치

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  진동이 있을 시, Align이 틀어져 패턴 형성에 문제가 생기는 것으로 알고 있습니다.

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• l

  lIIIIl삼성전자

  코사장 ∙ 채택률 79% ∙

  회사

  일치

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  포토공정은 웨이퍼 위에 정해진 위치에 정확히 패턴을 만드는게 목표인 공정입니다 진동이 있다면 잘못된 위치에 패턴이 만들어지고 그럼 불량이 생기게 됩니다

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• 수

  수퍼맹삼성전자

  코차장 ∙ 채택률 51% ∙

  회사

  일치

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  진동이 압력을 말씀하시는 건진 잘 모르겠으나.. ㅜ 온도와 압력은 파티클 측면에서도 매우 중요합니다

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  반도체

  설계팀

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