노광 장비 중 scanner와 stepper 차이점

Q. 노광 장비 중 scanner와 stepper 차이점

릴릴리7

스캐너와 스테퍼의 원리는 이해했는데 그에 따른 차이점을 자세히 알려주세요 제가 알기론 그 중에 스캐너는 M:1 축소 노광이 가능하고 스테퍼는 안된다고 알고 있는데 ASML 노광장비의 스펙을보면 스테퍼에도 reduction ratio가 있던데 이건 뭔가요?

2020.06.30

답변 1

메
메칸더V
채택된 답변
스테퍼도 magnification 배율 노광이 가능합니다. 차이라면 스테퍼는 워크 스테이지 이동방식으로 샷을 구현하는 반면 스캐너는 워크스테이지와 마스크 스테이지가 동시 이동하여 샷을 찍는 부분에 있어서 스테퍼보다 자유도가 훨씬 높다볼수 있습니다.
2020.06.30
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