1. 상관분석
- 두 변수 간의 관계를 파악하기 위해 사용된다.
- 두 변수가 어떤 관계를 가지고 있는지, 얼마나 강한 관계를 가지고 있는지, 어떤 방향으로 관계가 있는지 등을 알 수 있다.
- 상관분석을 통해 얻은 결과를 바탕으로 두 변수가 서로 영향을 주고 받는지, 예측할 수 있는지 등을 알 수 있다.

2. 회귀분석
- 한 변수가 다른 변수에 어떤 영향을 주는지, 그 영향력이 어느 정도인지를 파악하기 위해 사용된다.
- 종속변수와 독립변수 간의 관계를 나타내는 회귀식을 도출하여, 독립변수의 변화에 따른 종속변수의 변화를 예측할 수 있다.
- 회귀분석을 통해 얻은 결과를 바탕으로 어떤 변수가 다른 변수에 어떤 영향을 주는지를 파악할 수 있다.

3. 분산분석
- 그룹 간의 차이를 분석하기 위해 사용된다.
- 하나의 독립변수에 대해 종속변수의 평균 차이가 있는지, 여러 개의 독립변수가 종속변수에 어떤 영향을 미치는지 등을 파악할 수 있다.
- 분산분석을 통해 얻은 결과를 바탕으로 그룹 간의 차이가 있는지, 그 차이의 정도가 어느 정도인지를 알 수 있다.

각 분석법은 데이터의 특성과 분석 목적에 따라 적절하게 선택하여 사용해야 한다. 상관분석은 두 변수 간의 관계를 파악할 때, 회귀분석은 한 변수가 다른 변수에 어떤 영향을 주는지를 파악할 때, 분산분석은 그룹 간의 차이를 분석할 때 주로 사용된다. 이를 통해 데이터 분석의 목적에 맞는 결론을 얻을 수 있게 된다.

공정에서 문제가 발생했을 때 원인분석하기 위해 분석법을 사용합니다. 공정에서 사용하는 변수들이 여러가지 있는데, 온도부터 각 장비의 여러 변수들에서 나오는 로우데이터 들이 있습니다. 이 데이터들을 통계적으로 분석하여 어떤 문제가 발생하는 지 알아보고자 함입니다.

안녕하세요 답변드립니다.

해당 분석은 통계학에서 검정법 에서 배우는 내용인데요.
보통 제조기술센터에서 mass 물량에대한 산포, 공정별 차이 등을 고려할때 씁니다.

1. 상관분석
a 공정 변화시 c 공정에 따른 skew 가 발생시, 유의차를 확인하는 경우
예를 들면, photo adi cd 가 틀어지면 etch 후 aci cd 가 틀어질때, 얼마만큼의 가중치로 틀어지는가

2. 회귀분석
상관관계와 달리 이미 정해진 함수꼴을 정해두고, 해당 함수간의 변인에 따른 추정을 하는 경우
예를 들면, 신규 막질 별 thk library 확인 시 intensitiy에 대한 nm peak 간 상관관계 식이 정해졌을때, 특정 peak 인 경우 해당 막질의 두께를 추정하는 기술

3. 분산분석 (anova)
crystal fraction index 확인시 각 시료별 grain size에 대한 모수가 나올때, 해당 표본의 평균이 유의수준 a 에 의해서 봤을때 동등한지, 동등하지 않는지 구분하는 경우

예를들면, poly, w, mo 등 cvd 막질 depo 후 결정화시에, 어떤 방식으로 결정화하는게 가장 큰 결정화도를 갖는지 등을 판단할때 씁니다.