직장생활 · 삼성 / 모든 직무

Q. 증착공정 질문있습니다

무미무

증착공정을 하는 이유가 완성된 회로에 박막을 입혀 전기적 특성을 부여하거나(절연, 전기적연결), 회로를 보호하는 역할을 하는걸로 알고있습니다. 따라서 금속 배선 공정에서도 CVD방법으로 증착시키는걸로 아는데 이외에 증착이 사용되는 용도들을 좀 알 수 있을까요? PVD에서 defo, 스퍼터링, CVD에서 APCVD, LPCVD, PECVD, 또 ALD 방식 모두 궁금합니다


2022.06.06

 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 

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