Q. Customer Support Engineer의 장비 alarm 대처 과정에 대해 궁금합니다

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  일치

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  안녕하세요, 멘티님 질문 답변 드립니다. [질문] mfc문제를 도출하기 위한 과정을 자세히 알고 싶습니다. [답변] 일단 문제가 무엇 인지가 정확히 파악은 되지 않아서 가정해서 말씀드리겠습니다. pvd장비를 사용하셨다면 1)파워 2)가스 3)압력 3가지를 고려해서 상호 연관성을 분석 합니다. 기준은 2)가스으로 잡고 문제에 접근 한다면 Plasma 환경을 조성하기 위한 적절한 가스가 부족하다고 생각하고 Flow을 더 흘려 보는 경우가 있습니다. 예를 들어 Ar,N2 2가지를 쓴다면 Ar을 추가로 넣어 본다거나, N2를 추가로 넣어 본다거나 하는 경우입니다. MFC는 결국 3)압력과도 연관이 지을 수 있습니다. 원하는 Pressure까지 도달하게 만드는 것은 MFC와 PUMP이기 때문입니다. 보통 MFC Flow을 늘렸는데 해결이 됬다고 한다면 1)Leak point가 있는지 확인 2)Gas line 문제가 있는지 확인 3)Pump가 제대로 동작하는지 확인 등이 있습니다. 요점은 PVD는 Plasma를 사용해야 되는 공정인데 Plasma가 형성이 안 되어 형성하기 위한 여러 조건 중 flow양을 늘리는 행위를 하신 것 같습니다. 답변이 도움이 되셨으면 좋겠습니다^^

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