Q. PVD Sputter 장비에서 MFC로 인한 alarm 문제 해결 과정
안녕하세요. customer support engineer나 ce 직무에서 실제 장비 alarm 이슈를 해결하는 과정에 의문이 생겨 질문하게 됐습니다.
pvd sputter 장비 내 발생할 수 있는 원인은 수많은 종류가 있고, 그중 가스 유량 입력값이 하드웨어와 소프트웨어상에 제대로 설정되지 않으면 alarm이 발생할 수 있다고 알고 있습니다. 그런데 이 과정에서 bm이 발생하면 가장먼저 어떤 이슈부터 확인하는 건지, 아니면 모니터 상에 mfc를 나타내는 부분이 빨간색으로 자체적으로 뜨는건지 헷갈려서요
1. 알람 코드 확인: 장비의 모니터에서 표시되는 알람 코드를 확인하여 문제의 원인을 파악합니다. 특정 알람 코드가 특정 문제를 나타낼 수 있습니다.
2. MFC 상태 점검: MFC의 상태를 점검합니다. MFC가 정상적으로 작동하고 있는지, 유량이 설정값과 일치하는지를 확인합니다.
3. 가스 유량 설정 확인: 소프트웨어와 하드웨어에서 가스 유량 입력값이 올바르게 설정되어 있는지 확인합니다. 설정값이 일치하지 않으면 알람이 발생할 수 있습니다.
4. 연결 상태 점검: MFC와 관련된 모든 배관 및 전기 연결 상태를 점검하여 누수나 연결 불량이 없는지 확인합니다.
5. 소프트웨어 로그 분석: 장비의 소프트웨어 로그를 분석하여 이전의 경고나 오류 메시지를 확인합니다. 이를 통해 문제의 원인을 더 명확히 파악할 수 있습니다.
이러한 단계들을 통해 MFC와 관련된 알람 문제를 체계적으로 해결할 수 있습니다.
2024.11.20