직무 · 어플라이드 머티어리얼즈 코리아 / 장비제어

Q. PVD Sputter 장비에서 MFC로 인한 alarm 문제 해결 과정

안녕하세요. customer support engineer나 ce 직무에서 실제 장비 alarm 이슈를 해결하는 과정에 의문이 생겨 질문하게 됐습니다. pvd sputter 장비 내 발생할 수 있는 원인은 수많은 종류가 있고, 그중 가스 유량 입력값이 하드웨어와 소프트웨어상에 제대로 설정되지 않으면 alarm이 발생할 수 있다고 알고 있습니다. 그런데 이 과정에서 bm이 발생하면 가장먼저 어떤 이슈부터 확인하는 건지, 아니면 모니터 상에 mfc를 나타내는 부분이 빨간색으로 자체적으로 뜨는건지 헷갈려서요