Q. PVD Sputter 장비에서 MFC로 인한 alarm 문제 해결 과정

답변 3

• 이

  이디오어플라이드 머티어리얼즈 코리아

  코대리 ∙ 채택률 100% ∙

  회사

  일치

  ---

  채택된 답변

  레시피가 돌면서 목표한 유량값에서 몇프로 이상 벗어나면 mfc 도 빨간색 알람이 뜨고, UI 상에도 알람이 뜹니다. 근데 질문을 보면 초기 세팅값에서 차이가 나는 것에 대한 질문이신 것 같은데 2가지 경우가 있습니다. 1. 설비상 configure 세팅이 잘못된 경우 2. mfc 자체 세팅이 잘못된 경우 두가지 경우 모두 mfc 에 빨간색 표시가 뜨면서 cal mismatch 같은 알람이 떠있습니다. 1. 은 설비에서 자체적으로 mfc size 를 맞춰서 해결할 수 있고 2. 은 mfc (보통 brooks) 사에서 와서 conversion 해줘야 합니다.

  ---

  ---

  댓글 2

  파

  파이링ㄹ

  작성자

  2024.11.23

  혹시 해당 내용에 대해서 조금 더 구체적으로 설명해주실 수 있으실까요…?

  이

  이디오

  2024.11.28

  scam 이 오타네요. sccm입니다.

• E

  ESPP어플라이드 머티어리얼즈 코리아

  코과장 ∙ 채택률 73% ∙

  회사

  일치

  ---

  채택된 답변

  안녕하세요, 멘티님. 제가 잘 이해한건지 모르겠지만, 이슈가 발생하면 메세지가 뜨는데 그 메세지에 어떤 오류로 인한 것인지 내용이 기입되어 있습니다. 보통 그걸 보고 조치를 취하는거 같네요. 도움이 되셨길 바랍니다~!

  ---

  ---

  댓글 1

  파

  파이링ㄹ

  작성자

  2024.11.21

  그렇다면 알람 코드를 통해 어떤 모듈에서 발생한 문제인지 확인할 수 있다는 말씀이신 거죠…? 그 뒤에 해당 부분을 하드웨어 점검이나 테스트를 통해 파악하는 거구요

• 

  레시피를 전달하는 전도사(레전s)어플라이드 머티어리얼즈 코리아

  코과장 ∙ 채택률 73% ∙

  회사

  일치

  ---

  안녕하세요, 멘티님 질문 답변 드립니다. [질문]이슈에 가장 먼저 접근하는 방법은? [답변]단순 error라면 event log라는 공간에 어디가 문제이다 라고 표시가 되고 그 부분을 집중적으로 보게 됩니다. 멘티님 말처럼 빨간색 error code가 뜨게 됩니다. 그럴 경우 이슈의 난이도는 '하'이고 크게 작업 할 내용이 없습니다. 다만 단순 error가 아니라 해석이 필요 한 경우라면 (예를 들어 plasma가 뜨고 있는 와중에 파워가 죽는 것 등) 다양한 접근 체계가 필요합니다. 압력,파워,가스,웨이퍼 위치 및 상태,온도 등을 고려해서 순차적으로 작업을 진행하게 됩니다. 답변이 도움이 되셨으면 좋겠습니다^^

  ---