PVD Sputter 장비에서 MFC(유량 조절기)와 관련된 알람 문제를 해결하는 과정은 여러 단계로 이루어집니다. 일반적으로, 알람이 발생했을 때 가장 먼저 확인해야 할 사항은 다음과 같습니다.

1. 알람 코드 확인: 장비의 모니터에서 표시되는 알람 코드를 확인하여 문제의 원인을 파악합니다. 특정 알람 코드가 특정 문제를 나타낼 수 있습니다.

2. MFC 상태 점검: MFC의 상태를 점검합니다. MFC가 정상적으로 작동하고 있는지, 유량이 설정값과 일치하는지를 확인합니다.

3. 가스 유량 설정 확인: 소프트웨어와 하드웨어에서 가스 유량 입력값이 올바르게 설정되어 있는지 확인합니다. 설정값이 일치하지 않으면 알람이 발생할 수 있습니다.

4. 연결 상태 점검: MFC와 관련된 모든 배관 및 전기 연결 상태를 점검하여 누수나 연결 불량이 없는지 확인합니다.

5. 소프트웨어 로그 분석: 장비의 소프트웨어 로그를 분석하여 이전의 경고나 오류 메시지를 확인합니다. 이를 통해 문제의 원인을 더 명확히 파악할 수 있습니다.

이러한 단계들을 통해 MFC와 관련된 알람 문제를 체계적으로 해결할 수 있습니다.

안녕하세요, 멘티님.

제가 잘 이해한건지 모르겠지만, 이슈가 발생하면 메세지가 뜨는데 그 메세지에 어떤 오류로 인한 것인지 내용이 기입되어 있습니다.
보통 그걸 보고 조치를 취하는거 같네요.

도움이 되셨길 바랍니다~!

레시피가 돌면서 목표한 유량값에서 몇프로 이상 벗어나면 mfc 도 빨간색 알람이 뜨고, UI 상에도 알람이 뜹니다.

근데 질문을 보면 초기 세팅값에서 차이가 나는 것에 대한 질문이신 것 같은데 2가지 경우가 있습니다.
1. 설비상 configure 세팅이 잘못된 경우
2. mfc 자체 세팅이 잘못된 경우

두가지 경우 모두 mfc 에 빨간색 표시가 뜨면서 cal mismatch 같은 알람이 떠있습니다.
1. 은 설비에서 자체적으로 mfc size 를 맞춰서 해결할 수 있고
2. 은 mfc (보통 brooks) 사에서 와서 conversion 해줘야 합니다.

안녕하세요,

멘티님 질문 답변 드립니다.

[질문]이슈에 가장 먼저 접근하는 방법은?
[답변]단순 error라면 event log라는 공간에 어디가 문제이다 라고 표시가 되고 그 부분을 집중적으로 보게 됩니다. 멘티님 말처럼 빨간색 error code가 뜨게 됩니다. 그럴 경우 이슈의 난이도는 '하'이고 크게 작업 할 내용이 없습니다. 다만 단순 error가 아니라 해석이 필요 한 경우라면 (예를 들어 plasma가 뜨고 있는 와중에 파워가 죽는 것 등) 다양한 접근 체계가 필요합니다. 압력,파워,가스,웨이퍼 위치 및 상태,온도 등을 고려해서 순차적으로 작업을 진행하게 됩니다.

답변이 도움이 되셨으면 좋겠습니다^^