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Q. 극저온 식각에서의 생산성 향상, 승온 과정
소소기코
극저온 식각 관련한 질문이 있습니다. 극저온 식각을 통해서, HAR Etch를 할 경우에 기존 대비 2.5배~3배 정도의 식각 속도를 가지면서 생산성 향상에 기여한다는 기사들이 많은데요 제가 생각해봤을 때는, Thermal Stress를 줄이기 위해서 극저온 식각이 진행되는 -100도, -63도 부근으로 냉각 및 승온 과정에서 천천히 온도 변화가 진행되어야 할 것 같다는 생각이 듭니다. 따라서 이 과정에서 소모되는 시간이 꽤 길 것 같은데 실제로는 어떤지 궁금합니다.
2025.09.28
답변 1
프로답변러YTN코부사장 ∙ 채택률 86%멘티님, 극저온 식각(HAR Etch) 공정에서는 식각 속도가 기존 대비 2.5~3배 빠르지만, 실제로 승온(냉각 후 온도 상승) 과정은 자동화 및 원활한 프로세스 제어로 최소화되어 전체 생산 효율에 큰 영향은 주지 않습니다. 공정 장비에서 냉각과 승온이 동시에 여러 웨이퍼에 대해 최적화되어 진행되므로 Thermal Stress 제어와 빠른 온도 변화가 가능하며, 생산성이 저하되지 않는 것이 일반적입니다. 승온 과정이 길어지지 않도록 전체 자동 제어 시스템이 구축되어 있어 실제로 시간 소모는 매우 효율적입니다. 결과적으로 극저온 식각은 빠른 속도, 높은 생산성, Thermal Stress 최소화 모두 실현됩니다. 채택부탁드리며 파이팅입니다!
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