Q. ASML CS엔지니어

답변 2

• r

  reinheart우양포토닉스

  코부장 ∙ 채택률 52%

  ---

  1 옵티컬 디펙 2 디펙트 컨펌 3 열화현상 4 REAR FRONT 미러 에러 5 미러 체크 6 미러 캘리브레이션

  ---
• 니

  니꿈은뭐니삼성전기

  코사장 ∙ 채택률 86%

  ---

  보강장비는 워낙 하이테크 장비기 때문에 여러 가지 기술의 집약체라 보셔도 무방할 정도로 대단히 민감한 설비입니다. 워낙 많은 종류의 트러블이 있지만 대표적으로는 Z축 포커싱 문제에 의한 노광 CD 문제와 정합을 위한 오버레이 문제가 대표적인 2가지 고질 불량이라고 보시면 되겠습니다.

  ---