ASML 장비에서 발생할 수 있는 주요 이슈는 다음과 같습니다.

1. 광학 시스템 문제: 렌즈나 거울의 오염, 손상 또는 정렬 문제로 인해 이미지 품질이 저하될 수 있습니다.

2. 기계적 결함: 이동 부품의 마모나 고장으로 인해 장비의 정확한 동작이 방해받을 수 있습니다.

3. 전기적 문제: 전원 공급 장치의 불안정성이나 회로의 결함으로 인해 장비가 정상적으로 작동하지 않을 수 있습니다.

4. 소프트웨어 오류: 운영 소프트웨어의 버그나 설정 오류로 인해 장비의 성능이 저하되거나 비정상적인 동작이 발생할 수 있습니다.

5. 환경적 요인: 온도, 습도, 진동 등의 외부 환경이 장비의 성능에 영향을 미칠 수 있습니다.

이러한 이슈들은 정기적인 유지보수와 점검을 통해 예방하고 해결할 수 있습니다.

보강장비는 워낙 하이테크 장비기 때문에 여러 가지 기술의 집약체라 보셔도 무방할 정도로 대단히 민감한 설비입니다. 워낙 많은 종류의 트러블이 있지만 대표적으로는 Z축 포커싱 문제에 의한 노광 CD 문제와 정합을 위한 오버레이 문제가 대표적인 2가지 고질 불량이라고 보시면 되겠습니다.

1 옵티컬 디펙
2 디펙트 컨펌
3 열화현상
4 REAR FRONT 미러 에러
5 미러 체크
6 미러 캘리브레이션