직무 · ASML / 장비제어

Q. ASML 장비 부품 관련 질문

안녕하세요 ASML CSE 직무에 지원한 신소재공학부 학생입니다. 제가 진공이나 플라즈마 관련 부품들에 대해 공부해본적이 있는데, ASML 장비에 공통으로 적용되는 부품이 있다면 이런걸 공부해봤다고 써먹고 싶습니다. 우선 노광이 빛을 이용해 노광하는 원리이기 때문에 플라즈마는 안쓰이는걸로 알고있고, MFC(mass flow controller), TMP 같은 진공펌프, 이오나이저가 노광 장비에도 들어가는지 궁금합니다! 또 장비에 문제가 생겼을때 CS 엔지니어가 확인해야하는 대표적인 부품들에는 어떤게 있을까요? 감사합니다!