직무 · LG디스플레이 / 공정설계
Q. Taper angle
Display에서 Ltps tft 공정 진행중에 포토 후 taper angle을 맞춘다 라는 말이있는데 taper angle 뜻이 무엇이며 왜해야하는지.. 또 이로 인한 오류를 줄이는 법에 대해 궁금합니다!
2022.05.09
답변 2
- 니니꿈은뭐니삼성전기코사장 ∙ 채택률 86%
채택된 답변리소그라피 공정에서 PR profile angle을 의미합니다. 해당 경사각에서 후공정 dep.이나 etch시 각도가 결정되기 때문입니다. 영향을 주는 인자는 노광량, pr 두께, 현상시간등이 있습니다.
- wwhocanstopmenow어플라이드머티어리얼즈코부사장 ∙ 채택률 66%
litho 시에 피알 앵글 뜻하구요 팩터값은 pr 두꼐랑 현상, 노광 입니다. 에치 각도 결정을 중요시 생각합니다
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