직무 · SK하이닉스 / 공정개발

Q. Dram HKMG공정 단계에서의 질화

FFinfet

1. Gate Stack 형성 시 IL(Interfacial Layer, SiO₂) 질화 공정은 필수인가요? •Thermal Nitridation or Plasma Nitridation 방식인지도 궁금합니다. 2.High-k 물질(HfSiO, HfO₂ 등)에 대해서도 질화 공정이 필수인가요? •만약 한다면, 목적은 trap passivation인가요? 또는 유전율 안정성인가요?


2025.07.16

 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 

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