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Q. 하이닉스 금속배선공정
하이닉스 금속배선공정은 thin film팀에서 담당하고 있고, PVD에서 metal을 다루고, CVD에서 non-metal을 다루고 있다고 다른글에서 보았는데요 혹시 현재도 그러한지(금속배선은 주로 PVD를 사용하는지) 궁금합니다 3년전 글이어서 혹시 현재는 새로운 기술이 도입되어서 달라진 점이 있는지 궁금해서 질문드립니다
2025.05.10
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