Q. CVD 공정 PECVD

답변 4

• 행

  행복주입소SK하이닉스

  코전무 ∙ 채택률 71% ∙

  회사

  일치

  ---

  채택된 답변

  안녕하세요 멘티님, CVD 공정에는 PECVD 뿐만 아니라 ALD, LPCVD, hdpcvd 공정등이 있습니다. 각각의 장단점이 있기 때문에 요즘은 플라즈마를 이용한 LPCVD도 많이 사용하고 있습니다. 화이팅하세요~~ 항상 취뽀하시길 응원하겠습니다!!

  ---
• 하

  하이닉스 고인물어플라이드머티어리얼즈

  코전무 ∙ 채택률 76%

  ---

  채택된 답변

  안녕하세요 멘티님, PeCVD도 많이사용하나 요새는 LPCVD에도 플라즈마를 사용하기에 여러 종류의 증착공정이 사용된다고 생각하시면 됩니다.

  ---
• 니

  니꿈은뭐니삼성전기

  코사장 ∙ 채택률 86%

  ---

  채택된 답변

  PECVD가 가장 범용화된 양산용 설비가 맞지만 활용목적에 따라 hdpcvd, lpcvd, ald등도 활용되긴 합니다.

  ---
• 범

  범범짠SK하이닉스

  코과장 ∙ 채택률 89% ∙

  회사

  학교

  일치

  ---

  채택된 답변

  안녕하세요. CVD공정은 ALD, PECVD, LPCVD와 같은 공정이 있는게 모두 장단점이 있습니다. 상대적으로 PECVD공정이 시간이 짧아서 가장 많이 사용되고는 있으나 정밀한 공정(Step coverage)가 높거나 막 에피성장, density 높은 막을 증착할 때 LPCVD를 사요하고 있습니다. 추가적인 질문이 있으시다면 연락주세요!

  ---
• AD

  

  반도체

  설계팀

  ---

  대기업 반도체 산업으로 취업하기 위해선, 직관적 해석능력과 사고력이 필요합니다. 핵심 역량과 배운 지식을 취업에 활용하고 싶다면 국비지원 강의를 추천합니다.

  확인하러 가기