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Q. sk하이닉스 양산기술 직무 공정최적화
1. 양산기술 직무가 크게 공정과설비로 나눠지는게 맞나요?? 2. 만약 맞다면 공정직무에서 단위공정부서의 업무중 공정 최적화업무가 있나요?? 제가 이해하고있는 공정 최적화는 공정파라미터를 적절히 조정 후 공정 레시피를 짜는 업무라고 알고있습니다!
2021.08.28
답변 1
- 범범범짠SK하이닉스코과장 ∙ 채택률 89% ∙일치회사
채택된 답변안녕하세요. 양산라인에서 어떤 목적으로 최적화를 진행하시는지가 궁금하신거 같네요! 제가 아는 부분 답변드리겠습니다. 1. 넵. 공정과 장비팀으로 나뉘어 있습니다. 2. 양산기술에서 공정 최적화는 수율개선을 위해 소자팀과 협업하여 진행하게됩니다. 예시를 들어본다면 DRAM유전막 두께가 얇아지게 된다면 CAP용량은 증가하나 Leakage가 발생하게됩니다. 반대로 두꺼워지먄 Leakage가 줄어들지만 CAP용량이 감소하게 됩니다. 이렇게 공정 para에 따라 특성이 변화하기때문에 불량률이 제일 낮은 적절한 두께를 찾아가게 됩니다. 위와 같은 방식으로 공정 RCP를 만들게 됩니다. 추가적으로 질문이 더 있으시다면 연락주세요 :)
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