회사/산업 · SK하이닉스 / 반도체설계
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쿼츠 엣지 링이 식각공정에 소모부품으로 쓰인다고 들었습니다. sic링과 조합해서 쓴다고는 하는데 역할을 찾아보기 힘드네요. 쿼츠 엣지 링이 어떤 역할을 하는지 궁금합니다.
2022.01.25
답변 3
- aak1234SK하이닉스코차장 ∙ 채택률 66% ∙일치회사
채택된 답변식각 공정에서 Ring은 Upper Ring(전극의 수평을 잡고 보호)과 Focus Ring(웨이퍼를 잡고 보호) 두 가지가 있습니다. 쿼츠 엣지 링은 위와 같은 역할을 수행하고 있습니다. SIC는 쿼츠 엣지 링보다 좀 더 고품질의 링이라고 생각하시면 됩니다.
- wwhocanstopmenow어플라이드머티어리얼즈코부사장 ∙ 채택률 66%채택된 답변
공정마다 상이하지만 q z ring 이면 esc 보호 하기 위함 입니다. ( 플라즈마로부터)
- 행행복주입소SK하이닉스코전무 ∙ 채택률 71% ∙일치회사채택된 답변
안녕하세요 멘티님, 공정마다 다를 수는 있는데 Q`Z RING을 말씀하시는 거라면 아마 플라즈마로부터 ESC 쪽을 보호하기 위한 용도로 생각하시면 될 것 같습니다. 감사합니다. 좋은 하루 되세요~!
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