Q. 양산기술 공정최적화

답변 4

• 니

  니꿈은뭐니삼성전기

  코사장 ∙ 채택률 86%

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  채택된 답변

  공정 파라메터를 변경해가며 대량생산에 걸맞는 조건 최적화를 진행하는것이 양기엔지니어의 주요 역할 중 하나가 맞습니다. 테스트더미에 평가를 하는 경우도 실제 양산품 일부에 적용하여 평가 후 폐기하기도 합니다.

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  댓글 9

  짱

  짱구고모부

  작성자

  2023.03.22

  어떤 툴로 공정 파라미터를 변경하나요..?

  니

  니꿈은뭐니

  2023.03.23

  설비에 직접적으로 인풋 파라메터를 넣어 변경합니다. 각설비마다 가지고 있는 인풋파라메터는 제각각입니다.

  짱

  짱구고모부

  작성자

  2023.03.23

  그렇게 진행한다면 웨이퍼 낭비가 심하지 않나요??

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• 황

  황금파이프삼성전자

  코부사장 ∙ 채택률 77%

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  채택된 답변

  안녕하세요. 테스트웨이퍼에 진행을 해서 문제없으면 실제 생산웨이퍼 일부 적용해서 평가합니다. 주로 가스량, 시간, 특정스텝 추가나 스킵 등을 통해 개선합니다.

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  댓글 1

  짱

  짱구고모부

  작성자

  2023.03.23

  테스트 웨이퍼를 사용하기전 유량검사등 검사는 어떻게 진행되나요??

• 하

  하이닉스 고인물SK하이닉스

  코전무 ∙ 채택률 76% ∙

  회사

  학교

  일치

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  정답입니다. 시뮬레이션을 하는 프로그램은 없는것 같고, 샘플 웨이퍼를 넣어서 측정되는 트랜드를 확인합니다. 이슈해결 목적이아니라 단순 공정 개선Test는 진행된 웨이퍼가 FAB OUT될때까지 기다렸다가 데이터확인하고 Yes or No를 결정짓습니다

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  댓글 1

  짱

  짱구고모부

  작성자

  2023.03.23

  음 제가 이해한 건 불량이 발생하면 이를 해결하려고 여러 데이터분석을 진행하고! 불량의 원인을 파악한 후에는! 예를들어 식각이 많이 되었거나 하면 식각이 덜되는 레시피로 테스트 웨이퍼에 공정을 하고 결과를 확인한다! 맞을까요??

• 행

  행복주입소SK하이닉스

  코전무 ∙ 채택률 71% ∙

  회사

  일치

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  안녕하세요 멘티님, 양산기술에서 정확히는 공정엔지니어가 하는 일이 그런 일이라고 생각하시면 되구요 시뮬레이션보다는 직접 시행착오를 통해 해결한다고 생각하시면 됩니다.

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  댓글 1

  짱

  짱구고모부

  작성자

  2023.03.23

  음 제가 이해한 건 불량이 발생하면 이를 해결하려고 여러 데이터분석을 진행하고! 불량의 원인을 파악한 후에는! 예를들어 식각이 많이 되었거나 하면 식각이 덜되는 레시피로 테스트 웨이퍼에 공정을 하고 결과를 확인한다! 맞을까요??

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