직무 · SK하이닉스 / 제조가공

Q. 양산기술 공정최적화

공정상에 이슈가 발생하면 공정 파라미터를 변경해가며 최적의,성능 조건을 찾는 것도 양산기술 엔지니어가 하는 일인가요??

한다면 어떤 방법으로 실험을 하는지 궁금합니다.
Test 웨이퍼에 공정을 하나요 시뮬레이션을 하나요?

답변 5
코멘토 AI봇
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네, 양산기술 엔지니어는 공정 최적화를 위해 테스트 웨이퍼 및 시뮬레이션을 사용합니다. 테스트 웨이퍼는 공정 파라미터를 변경해가며 시험하고 최적의 성능을 찾기 위한 실험을 할 수 있습니다. 또한, 시뮬레이션을 통해 실제 공정에서 발생할 수 있는 문제를 예측하고 이에 대한 대책을 수립할 수 있습니다.

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황금파이프
코부사장 ∙ 채택률 80%

안녕하세요. 테스트웨이퍼에 진행을 해서 문제없으면 실제 생산웨이퍼 일부 적용해서 평가합니다.
주로 가스량, 시간, 특정스텝 추가나 스킵 등을 통해 개선합니다.



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짱구고모부
2023.03.23
테스트 웨이퍼를 사용하기전 유량검사등 검사는 어떻게 진행되나요??
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니꿈은뭐니
코사장 ∙ 채택률 85%

공정 파라메터를 변경해가며 대량생산에 걸맞는 조건 최적화를 진행하는것이 양기엔지니어의 주요 역할 중 하나가 맞습니다.
테스트더미에 평가를 하는 경우도 실제 양산품 일부에 적용하여 평가 후 폐기하기도 합니다.



댓글 0
짱구고모부
2023.03.22
어떤 툴로 공정 파라미터를 변경하나요..?
니꿈은뭐니
2023.03.23
설비에 직접적으로 인풋 파라메터를 넣어 변경합니다. 각설비마다 가지고 있는 인풋파라메터는 제각각입니다.
짱구고모부
2023.03.23
그렇게 진행한다면 웨이퍼 낭비가 심하지 않나요??
니꿈은뭐니
2023.03.23
그래서 더미용 웨이퍼가 별도로 존재합니다.
짱구고모부
2023.03.23
따로 툴을 이용해서 시뮬레이션을 하는 게 아니라 말그대로 일단 실제 웨이퍼를 넣고 공정 조건을 바꿔가며 설비를 가동하면서 결과를 확인하는 거 맞을까요..?

약간 낭비가 있을 것 같습니다
니꿈은뭐니
2023.03.23
Opc 시뮬레이션 툴을 활용하긴하지만 100프로 맞지 않기 때문에 최종적인 확인을 위해 직접 평가 수행합니다.
짱구고모부
2023.03.23
혹시 N fet p fet 소자 시뮬레이션에서 온도, 입력 전압을 바꿔가며 누설전류, gidl 등을 확인한 경험을 이거를 공정 파라미터를 변경하며 최적의 공정 조건을 도출하는 역량으로 작성하려고 하는데 양산 기술 직무에 적절할까요..?
니꿈은뭐니
2023.03.23
직접적으로 매칭시키시면 공기와는 큰 관련성 없으니 저런 경험을 통해 멘티님이 가진 공학적 사고를 어필하는 방향으로 접근하시면 도움될겁니다.
짱구고모부
2023.03.23
공학적 사고라 말씀하시면 결과 분석을 통한 솔루션 제시 이런 느낌일까요???
친절한 답변 감사드리고 있습니다...ㅠㅠ
행복주입소
코전무 ∙ 채택률 71% ∙
회사
일치

안녕하세요 멘티님,

양산기술에서 정확히는 공정엔지니어가 하는 일이 그런 일이라고 생각하시면 되구요

시뮬레이션보다는 직접 시행착오를 통해 해결한다고 생각하시면 됩니다.



댓글 0
짱구고모부
2023.03.23
음 제가 이해한 건 불량이 발생하면 이를 해결하려고 여러 데이터분석을 진행하고!
불량의 원인을 파악한 후에는! 예를들어 식각이 많이 되었거나 하면 식각이 덜되는 레시피로 테스트 웨이퍼에 공정을 하고 결과를 확인한다! 맞을까요??
하이닉스 고인물
코상무 ∙ 채택률 76% ∙
회사 학교
일치

정답입니다. 시뮬레이션을 하는 프로그램은 없는것 같고, 샘플 웨이퍼를 넣어서 측정되는 트랜드를 확인합니다.

이슈해결 목적이아니라 단순 공정 개선Test는 진행된 웨이퍼가 FAB OUT될때까지 기다렸다가 데이터확인하고 Yes or No를 결정짓습니다



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짱구고모부
2023.03.23
음 제가 이해한 건 불량이 발생하면 이를 해결하려고 여러 데이터분석을 진행하고!
불량의 원인을 파악한 후에는! 예를들어 식각이 많이 되었거나 하면 식각이 덜되는 레시피로 테스트 웨이퍼에 공정을 하고 결과를 확인한다! 맞을까요??
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