회사/산업 · SK하이닉스 / 반도체설계
Q. 반도체 식각공정 소모 부품 질뮤있습니다.
쿼츠 엣지 링이 식각공정에 소모부품으로 쓰인다고 들었습니다. sic링과 조합해서 쓴다고는 하는데 역할을 찾아보기 힘드네요. 쿼츠 엣지 링이 어떤 역할을 하는지 궁금합니다.
2022.01.25
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