Q. 반도체 식각공정 소모 부품 질뮤있습니다.

답변 3

• a

  ak1234SK하이닉스

  코차장 ∙ 채택률 66% ∙

  회사

  일치

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  채택된 답변

  식각 공정에서 Ring은 Upper Ring(전극의 수평을 잡고 보호)과 Focus Ring(웨이퍼를 잡고 보호) 두 가지가 있습니다. 쿼츠 엣지 링은 위와 같은 역할을 수행하고 있습니다. SIC는 쿼츠 엣지 링보다 좀 더 고품질의 링이라고 생각하시면 됩니다.

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• w

  whocanstopmenow어플라이드머티어리얼즈

  코부사장 ∙ 채택률 66%

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  채택된 답변

  공정마다 상이하지만 q z ring 이면 esc 보호 하기 위함 입니다. ( 플라즈마로부터)

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• 행

  행복주입소SK하이닉스

  코전무 ∙ 채택률 71% ∙

  회사

  일치

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  채택된 답변

  안녕하세요 멘티님, 공정마다 다를 수는 있는데 Q`Z RING을 말씀하시는 거라면 아마 플라즈마로부터 ESC 쪽을 보호하기 위한 용도로 생각하시면 될 것 같습니다. 감사합니다. 좋은 하루 되세요~!

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  반도체

  설계팀

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