Q. Dry etch 공정 기술 엔지니어 엣지링에 관련 업무 수행

답변 3

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  두부르농업회사법인닥더애그주식회사

  코전무 ∙ 채택률 59%

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  엣지링과 관련된 업무를 수행합니다. 엣지링은 웨이퍼의 가장 자리 부분을 보호하고 공정 중에 에칭된 물질이 웨이퍼 가장자리로 확산되는 것을 방지합니다. 대형 반도체 제조 공정 시설에서는 엣지링을 관리하고 유지하는 전문가들이 별도로 존재합니다.

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• 졸

  졸린왈루(주)KEC

  코사장 ∙ 채택률 98%

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  안녕하세요 멘티님 네 엣지 링을 조절함으로써 플라즈마의 양, 가스 같은 요소가 변경되고, 이는 전부 에치 레이트 등의 파라미터에 영향을 미치기 때문입니다. 멘티님의 취업에 좋은 결과 있기를 바라겠습니다.

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• 

  어니언슾SK하이닉스

  코상무 ∙ 채택률 73%

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  edge ring도 공정 진행에 따라 높이를 조절하여 공정 산포를 관리하고 있습니다. edge ring을 조절하면 진행 장비 내 플라즈마 유동이 바뀌는 원리를 이용해 공정에서 다양하게 활용하고 있습니다.

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  반도체

  설계팀

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