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Q. 나이트라이드에서 N결합이 박막의 uniformity에 어떤 영향을 미치는지 궁금합니다.
N2플라즈마에 의해 질소 라디컬이 많아지면 박막에 질소 결합이 증각해 박막의 etch rate가 증가한다고 알고 있습니다. 어떤 매커니즘인지 궁금합니다.
2024.09.07
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