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Q. 반도체 패턴 관련 질문 궁금해요 ㅠㅠ

혼자서 생각하다가 궁금한데 해결이 안돼서 멘토님들께 질문남깁니다...
잘 부탁드려요..ㅎㅎ

궁금한 점
1. 포토 -> 패턴 형성, 식각 -> 패턴 구현 표현이 맞나요?
2. 포토 과정을 거쳐서 이미 패턴이 형성되어 있는 것이라면 식각 후 패턴 사라짐이라는 현상은 있을 수 없는 현상인가요?
3. Wet Etch 후 PR strip이 완벽하게 되지 않았을 때 원인은 Spin Coating 과정에서 PR 도포가 균일하게 되지 않아 PR이 두꺼운 부분에 해당 가정 상황이 발생 가능
이라고 원인을 생각해봤는데 일리가 있나요?
4. PR strip이 완벽하게 되지 않았을 때 광학 현미경으로 보면 어떻게 보이나요?
PR이 없는 부분과 있는 부분이 색이 다르게 보이나요?

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2022.12.06

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