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Q. 반도체 패턴 사라짐 원인에 대해 궁금합니다
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2022.12.05
답변 1
- 니니꿈은뭐니삼성전기코사장 ∙ 채택률 86%
첫번째는 pr이 두꺼운 부분에 박리가 미흡해서 패턴형성이 안됐다고했는데 이 논리가 아예 맞지 않습니다. 패턴형성은 박리전에 이미 되어있기 때문입니다. 두번째는 가스의 종류에 따라 PR과 sio2가 함께 식각되어버릴수 있습니다. Sio2가 아주 얇게라도 남아있다면 현미경상에서 색상차이로 식별가능할 것 입니다.
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