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Q. 포토공정 용어에 관하여 질문이 있습니다,

궁금한것은 Pitch와 Feature size 그리고 CD입니다. 우선 제가 이해한 것을 말씀드리겠습니다.
Pitch는 반복되는 패턴과 패턴 사이 거리를 의미합니다. 단순히 표현한다면 line + space 로 표현할 수 있습니다.
Feature size는 단순히 패턴 size를 의미합니다. 앞서 이야기한 line 또는 hole , space 와 같은 패턴의 사이즈를 의미하며 minimum feature size는 대체로 Gate length를 나타냅니다.

CD는 포토 마스크를 통해 구현하는 길이 중 전기적으로 중요하다고 생각되는 임의로 지정된 패턴의 길이를 나타냅니다. 마스크 마다 이 CD값을 측정하는 ADI / ACI CD를 통해 패턴 형성이 제대로 되었는지 확인합니다.

여기까지가 제가 이해한 설명입니다. 이 세 용어는 포토 공정에 있어 중요하다고 생각해서 제가 생각하는 개념이 맞는지 또는 틀리다면 맞는 설명은 무엇인지 궁금해서 이렇게 질문을 올리게 되었습니다!