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Q. 포토공정 용어에 관하여 질문이 있습니다,

설설렁설렁

궁금한것은 Pitch와 Feature size 그리고 CD입니다. 우선 제가 이해한 것을 말씀드리겠습니다. Pitch는 반복되는 패턴과 패턴 사이 거리를 의미합니다. 단순히 표현한다면 line + space 로 표현할 수 있습니다. Feature size는 단순히 패턴 size를 의미합니다. 앞서 이야기한 line 또는 hole , space 와 같은 패턴의 사이즈를 의미하며 minimum feature size는 대체로 Gate length를 나타냅니다. CD는 포토 마스크를 통해 구현하는 길이 중 전기적으로 중요하다고 생각되는 임의로 지정된 패턴의 길이를 나타냅니다. 마스크 마다 이 CD값을 측정하는 ADI / ACI CD를 통해 패턴 형성이 제대로 되었는지 확인합니다. 여기까지가 제가 이해한 설명입니다. 이 세 용어는 포토 공정에 있어 중요하다고 생각해서 제가 생각하는 개념이 맞는지 또는 틀리다면 맞는 설명은 무엇인지 궁금해서 이렇게 질문을 올리게 되었습니다!

2023.02.13

답변 3

  • s
    stopdochillin어플라이드머티어리얼즈코리아
    코상무 ∙ 채택률 60%
    채택된 답변

    포토의 해깃ㅁ이죠. 개념 맞습니다. ㅎㅎ 공부 잘 하시네요

    2023.02.13

  • 니
    니꿈은뭐니삼성전기
    코사장 ∙ 채택률 86%
    채택된 답변

    잘 알고 계시네요. 언급하신 내용이 전부 맞습니다. pitch는 Line & Space 이고 Feature는 Line or Space 둘중 하나를 의미합니다. CD는 중요하다 생각되는 임의 특정영역을 스펙화시켜놓은 것이구요,

    2023.02.12

    댓글 1

    설
    설렁설렁
    작성자

    2023.02.13

    감사합니다! 깔끔하게 and, or로 머리속에 남길수 있을것 같습니다.

  • N
    NICK.KIM삼성전자
    코이사 ∙ 채택률 80%
    채택된 답변

    안녕하세요 답변드립니다. 네 전부다 맞습니다. 다만 Feature Size라는 용어는 현업에서 사용하지않습니다. 그냥 CD라고만 하셔도 충분합니다. 그리고 추가적으로 정보를 드리면, 일반적으로 CD는 Etch한 영역에 Depo 또는 Etch된 실측가능한 계산값을 CD라고 합니다. 간혹가다 ETCH 하고 남은 영역을 CD라고 하시는 분들이 있는데, 현업에서는 혼동을 방지하기위해 CD는 무조건 Hole 이나 CUT 기준으로 계산합니다.

    2023.02.12

    댓글 1

    설
    설렁설렁
    작성자

    2023.02.12

    용어가 너무 헷갈려서 이렇게 질문을 올렸는데 도움 주셔서 감사합니다!

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