직무 · 삼성전자 / 공정기술

Q. 반도체 증착공정시 엣지부분

ssteve93

증착공정시 엣지부분이 둥그렇게 많이 증착되어서 밑에 빈 공간이 생기는걸로 알고있습니다. 그런데 왜 엣지부분에 이렇게 증착이 더 되는지 사실 잘 이해가 되지 않습니다. 왜 그런건가요?


2020.04.25

 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 

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