직무 · 삼성전자 / 공정기술

Q. 포토공정

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포토 공정에서 dose와 focus mapping이나 (웨이퍼 별로 다르게 적용) 현상 속도를 제어하기위해 spin 회전수를 조절하는 방식이 사용되나요? 이걸 공정 엔지니어가 하는지 궁금합니다


2025.10.26

 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 

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