직무 · 삼성전자 / 공정설계
Q. 단면/표면 분석으로 thermal migration을 진단할 수 있나요?
단면/표면 분석으로 thermal migration을 진단할 수 있나요? 금속의 thermal migration을 측정기기나 분석기기로 진단할 수 있는지 궁금합니다. 예를 들어 단면을 분석했는데 spike의 존재를 눈으로 볼 수 있다던지, 표면이 너무 울퉁불퉁하다던지, 혹은 thermal migration이 진행됐을 때 특징적인 iv curve나 다른 특성이 나타나는지 등이 궁금합니다. 그리고 측정/분석기기로 진단할 수 있다면, 어떤 기기로 가능할지, 어떻게 불량 원인을 분석하는지 궁금합니다.
2022.03.18
답변 1
- llIIIIl삼성전자코사장 ∙ 채택률 79% ∙일치회사
현업에서는 BF (Bright Field) 검사나 EM이 주로 발생하는 패턴의 저항을 측정해서 진단을 하고 있습니다 시각적인 방법 BF와 전기적인 방법으로 측정하죠 물론 파괴분석도 같이 합니다
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