회사/산업 · 삼성전자 / 모든 직무
Q. 반도체 photo 공정에서 최신 기술
photo 공정에 대해 공부를 하고 있던 중, 최신 기술에 대해 궁금해서 여쭤보고 싶습니다. 대외비가 아닌 선에서 photo공정에서 '최신 기술'이 있는지 궁금합니다. 인터넷 서칭을 해보았지만 더블 패터닝 기술과 같은 것이 나오는데 꽤 사용되어 온 기술이라는 글을 보았기에 현직자 분들께 여쭤보고 싶습니다. 답변 부탁드리겠습니다. 감사합니다.
2022.04.20
답변 4
- llIIIIl삼성전자코사장 ∙ 채택률 79% ∙일치회사
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더블 패터닝은 10년도 넘은 기술이죠 그나마 최신 기술이라고 할 수 있는게 EUV 입니다. 사실 이것도 수년전 부터 이미 양산에 사용중이긴 합니다
- 굿굿모닝따롱삼성전자코대리 ∙ 채택률 72% ∙일치회사
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단연코 euv가 핵심입니다. euv의 원리부터 pellicle 등 찾아보시면 많은 정보가 나올텐데 참고하시면 되겠습니다.
- mmasteric삼성전자코부사장 ∙ 채택률 76% ∙일치회사
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euv 포토레지스트 치면 뉴스 많이나옵니다 멘티님 그게 최신기술이라고 보시면됩니다. euv관련 기술이 요즘에는 핵심입니다.
- 삼삼전applied삼성전자코대리 ∙ 채택률 66% ∙일치회사
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EUV 기술들이 계속 개발되고 있습니다. 스토캐스틱 이펙트나 euv 마스크 등 이슈가 생기는데 이를 해결하기 위해 여러 가지 기술들이 개발되고 있습니다. DUV에서는 쉐도잉 이펙트를 해결하는 기술들이 최신 기술이라고 생각합니다.
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