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Q. 반도체 초미세 공정 기술관련해서 질문이 있습니다.
안녕하세요. 현재 반도체 산업조사를 진행중인 상경계열 대학생입니다. EUV 기술 적용을 통한 초 미세 공정 기술의 발전을 이해하고 있는 도중에 질문이 있습니다. 회로 선폭 감소에 따라서 저항이 증가하게 되는데 이를 개선하는 연구에 대해서 자세하게 알고 싶습니다. 연구와 개선정도,매출에 미치는 상관관계 등등에 대해 알고 싶습니다! 질문 읽고 답변 해주셔서 감사합니다.
2022.07.16
답변 4
- 개개미는오늘도뚠뚠삼성전자코부사장 ∙ 채택률 73% ∙일치회사
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선폭이 미세화 됨에따라 자연스럽게 증가되는 저항을 억제하기위해, 고유의 비저항이 낮은 물질을 차용하기위한 연구는 지속적으로 이루어져 왔습니다. 이와함께 미세공정을 우한 포토레지스트 감광액/ 에천트 등 사용되는 캐미컬역시 순도가 끊임없이 높아지고 있구요
삼성전자현직ililii삼성전자코부장 ∙ 채택률 72% ∙일치회사채택된 답변
안녕하세요 삼성전자 현직자입니다. 관련 사이트를 첨부합니다. 참고하시면 도움될거예요. https://koreascience.kr/article/JAKO201523343148891.pdf https://patents.google.com/patent/KR100207472B1/ko
- llIIIIl삼성전자코사장 ∙ 채택률 79% ∙일치회사
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메탈의 비저항이 작은 물질을 개발해서 사용하는 방법으로 저항을 줄입니다 RC Delay를 줄이기 위해서 유전율이 작은/비저항이 작은 물질에 대한 개발이 계속 이뤄지죠
- 황황금파이프삼성전자코부사장 ∙ 채택률 77% ∙일치회사
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안녕하세요. 회로 선폭이 감소하면 저항은 따라서 감소하게 됩니다. 현재 계속 작게 만드려고 하는 이유가 저전력을 구현하기 위함이며, 이는 소자에 작은 전력을 주어도 전류가 흐를 수 있다는 의미입니다. 단, 회로 선폭이 감소하면 인접한 회로끼리 전기적 간섭이 일어나고, 전기력(V/L, V는 전압, L은 회로 사이의 거리)가 커지면서 전류가 흐르지 않아야 할 때도 흐르는 누설전류 현상이 커지는 것입니다. 소자는 웨이퍼라는 한정적인 공간에서 만들어지며, 소자가 작아질수록 웨이퍼 내에서 더 많은 칩을 생산해낼 수 있기 때문에 매출은 기하급수적으로 증가하게 됩니다. 미세화를 해결하기 위한 트랜지스터 기술력은 FINFET --> GAA --> MBCFET의 형태로 진화하면서 해결하려고 하나 아직까지는 기술적으로 많은 어려움이 있습니다.
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