Q. 극저온 식각에서의 생산성 향상, 승온 과정

답변 1

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  프로답변러YTN

  코부사장 ∙ 채택률 86%

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  멘티님, 극저온 식각(HAR Etch) 공정에서는 식각 속도가 기존 대비 2.5~3배 빠르지만, 실제로 승온(냉각 후 온도 상승) 과정은 자동화 및 원활한 프로세스 제어로 최소화되어 전체 생산 효율에 큰 영향은 주지 않습니다. 공정 장비에서 냉각과 승온이 동시에 여러 웨이퍼에 대해 최적화되어 진행되므로 Thermal Stress 제어와 빠른 온도 변화가 가능하며, 생산성이 저하되지 않는 것이 일반적입니다. 승온 과정이 길어지지 않도록 전체 자동 제어 시스템이 구축되어 있어 실제로 시간 소모는 매우 효율적입니다. 결과적으로 극저온 식각은 빠른 속도, 높은 생산성, Thermal Stress 최소화 모두 실현됩니다. 채택부탁드리며 파이팅입니다!

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