회사/산업 · 한국램리서치 / 공정기술
Q. 극저온 식각에서의 생산성 향상, 승온 과정
극저온 식각 관련한 질문이 있습니다. 극저온 식각을 통해서, HAR Etch를 할 경우에 기존 대비 2.5배~3배 정도의 식각 속도를 가지면서 생산성 향상에 기여한다는 기사들이 많은데요 제가 생각해봤을 때는, Thermal Stress를 줄이기 위해서 극저온 식각이 진행되는 -100도, -63도 부근으로 냉각 및 승온 과정에서 천천히 온도 변화가 진행되어야 할 것 같다는 생각이 듭니다. 따라서 이 과정에서 소모되는 시간이 꽤 길 것 같은데 실제로는 어떤지 궁금합니다.
2025.09.27
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