직무 · 도쿄일렉트론코리아 / 공정설계
Q. 도쿄일렉트론 에칭 장비에 대해 여쭤볼것이 있습니다.
안녕하십니까 이번에 도쿄 일렉트론 에칭 FE에 지원하는 학생입니다.
제가 알아본 바에 따르면 에칭 장비가 텍트라스와 유티니미가 있다고 보았습니다.
택트라스는 플라즈마로 Reaction ion etching을 한다고 들었는데 유티니미는 Dry etching을 한다는 것 말고는 아는게 없습니다ㅜㅜ 혹시 어떤 원리로 작동하는 장비인지 알 수 있을까요?