회사/산업 · 도쿄일렉트론코리아 / 모든 직무

Q. 도쿄일렉트론 에칭 장비

도쿄일렉트론이 다른 장비사에 비해 가지고 있는 에칭 장비의 장점이 뭘까요?? 제가 열심히 인터넷을 뒤져서 찾은거는 RIE 방식의 장비뿐만 아니라 액체를 사용하지 않는 화학적 건식 식각 장비가 있다는 것과 에피소드 UL 시리즈에는 12개의 챔버가 구성되어 있고 스마트 IN TOOL이 장착되어있다는 점입니다.. 그런데 식각장비는 램리서치가 1위이고 또 원자층단위의 식각공정 기술도 보유하고 있더라구요.. 그래서 TEL의 에칭장비가 다른 회사에 비해 어떤 독보적인 장점이 있는지 아직 잘 모르겠네요 ㅜㅜ 차근히 알려주시면 너무 감사하겠습니다 :)