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Q. Etch process engineer가 하는 일이 궁금합니다.

PPhatman

1. etch process engineer는 etch process를 진행한 후 평가 결과를 공유 및 계획 수립하는 것이 주된 일이라고 알고 있습니다. 이를 바탕으로 process window를 설정하기도 하는데, 이 process window는 대표적으로 어떤 게 있나요? 2. 최근 TEL은 극저온 식각 장비를 도입한 것으로 알고 있습니다. 여기서 HF가스를 주로 이용한다고 들었는데, 이 HF가스를 식각 진행 중 주로 영하 70도 상에서 유지하나요? 3. 저는 학부연구생에서 극저온 소자의 신뢰성을 파악한 경험이 있습니다. (불완전 이온화 등 극저온 환경에서의 device physics에 의한 mosfet의 i-v characteristic 변화) 하지만 주로 etch process engineer가 평가 단계에서 하는 일은 주로 SEM 등 측정 장비를 통한 etch profile을 측정하는 것이라고 들었습니다. 최적의 레시피를 고객사에게 전달하는데, 위 활동이 도움이 되나요?


2024.11.20

 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 

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