직무 · LG디스플레이 / 가스케미컬 관리

Q. 반도체 공정에 사용되는 배관의 재질에 대해 궁금합니다.

꼬북이등딱지

반도체 공정에서 IPA, Acetone, HF 50%, 과산화수소 25%, TMAH 25% 등 여러가지 약액이 사용되는 것으로 알고 있습니다. 약액마다 사용하는 배관의 종류가 다른데 현장에서는 어떤 약액에 주로 어떤 재질의 배관을 사용하는지 그 종류와 구체적인 이유에 대해 알고싶습니다.


2021.04.17

 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 

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