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Q. 반도체 CD-SEM 설비간의 기술 일치화?? 신뢰성???
안녕하세요. 반도체 공정 실습을 하는 과정에서 FAB에서 기존에 사용했던 CD-SEM이 에러가 발생해서 한동안 사용을 못하면서 다른 CD-SEM을 이용해서 공정을 이어서 진행시켰는데 이 과정에서, 두 CD-SEM이 다르기 때문에 이전에 측정했던 CD값이 조금씩 차이가 발생하고 결국 공정에서 문제가 발생했다는 상황입니다. 1. 이러한 상황에서 어떤 문제가 발생할 수 있나요? 2. 이러한 것을 설비간의 기술 일치화?? 어떤 말로 표현할 수 있나요?
2024.11.09
답변 2
- rreinheart우양포토닉스코부장 ∙ 채택률 57%
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- 졸졸린왈루(주)KEC코사장 ∙ 채택률 98%
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