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Q. 증착 공정실습 자기소개서 질문
공정실습 내용을 자기소개서에 적으려고 하는데 궁금한 점이 있어서 문의드립니다. E-beam evaporation 공정을 이용해서 SiO2 웨이퍼 위에 Al을 증착했는데 "증착 rate을 두께 구간별로 달리해서 center-edge간 두께를 줄였다" 라고 쓰고싶은데 실제로도 가능한 것인지 궁금합니다. 만약 가능하다면, 보통 C-E간 두께 차이가 얼마정도가 되어야 박막이 균일한 것인지 궁금합니다.
2024.10.14
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