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Q. 증착 공정 온도

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증착 공정 중 온도에 변화로 인해 증착 uniformity가 변화될 경우 chuck의 온도를 변화시키거나 가스의 유입량을 조절하여 공정 온도를 변화시킬수 있다고 생각합니다! 현업에서는 증착 공정 온도를 어떤 식으로 변화시키는지 궁금합니다!


2024.09.09

답변 1

  • 다시 돌아온 상코미코
    코사장 ∙ 채택률 99%

    안녕하세요 멘티님 해당 질문에 대해 답변 드리겠습니다. 하나의 파라미터만 조절하는 것이 아닌 척의 온도와 가스 유입량 유출량 등 온도에 연관되는 모든 파라미터를 종합적으로 변경합니다. 도움이 된 답변이라면 채택 부탁드려요! 취업에 성공하시길 바랍니다!

    2024.09.09


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